[科普中國]-深能級測量

深能級測量是指半導(dǎo)休材料中深能級的測量。方法主要有：深能級瞬態(tài)譜、光致發(fā)光、光電流瞬態(tài)譜、光電容和定值光電導(dǎo)等。

概念深能級測量是指半導(dǎo)休材料中深能級的測量。方法主要有：深能級瞬態(tài)譜、光致發(fā)光、光電流瞬態(tài)譜、光電容和定值光電導(dǎo)等。

優(yōu)點(diǎn)其中深能級瞬態(tài)譜( DLTS )法靈敏度高，分析方便、直觀、輻射中心或非輻射中心都能檢測，并能嚴(yán)格確定結(jié)區(qū)能級參數(shù)，因此被廣泛采用1。

原理深能級瞬態(tài)譜需制備p-n結(jié)或肖特基勢壘結(jié)。其原理是：處于反向偏置下的p-n結(jié)，其空間電荷區(qū)的擴(kuò)展寬度Wr決定于離化了的淺雜質(zhì)和深雜質(zhì)濃度之和。若同時(shí)加上正向脈沖、可使其偏壓為零，中性區(qū)中的深中心迅速俘獲載流子，在脈沖消失后的瞬間由于被俘獲的載流子尚未發(fā)射，寬度小于Wr，隨時(shí)間趨向于Wr。這個(gè)時(shí)間取決于深中心的能級和濃度。

特點(diǎn)深能級瞬態(tài)光譜法的重要特點(diǎn)是采用了“發(fā)射率窗”，從電容瞬態(tài)求出電子熱發(fā)射率?！奥蚀啊痹O(shè)定后，在一次溫度掃描的過程中，不同的深中心出現(xiàn)在不同的溫度上，形成深能級瞬態(tài)能譜，譜峰的高度對應(yīng)于深中心濃度，峰的正負(fù)對應(yīng)于少子陷阱和多子陷阱1。

本詞條內(nèi)容貢獻(xiàn)者為:

邱學(xué)農(nóng) - 副教授 - 濟(jì)南大學(xué)