作者:吳苡婷
過5年技術攻關和迭代
復旦大學周鵬、包文中聯(lián)合團隊 突破了二維半導體電子學集成度瓶頸,成功研制全球首款基于二維半導體材料的32位RISC-V架構微處理器“無極(WUJI)”
該處理器通過自主創(chuàng)新的特色集成工藝
通過開源簡化指令集計算架構(RISC-V)
在國際上實現了
二維邏輯功能最大規(guī)模驗證紀錄
(集成5900個晶體管)
完成了從材料到架構再到流片的
全鏈條自主研發(fā)
4月2日晚
相關論文發(fā)表于國際頂尖期刊《自然》
從數百到5900的跨越
面對摩爾定律逼近物理極限的全球性挑戰(zhàn),具有原子層厚度的二維半導體是目前國際公認的破局關鍵。歷經國際學術界與產業(yè)界十余年攻關,科學家們已掌握晶圓級二維材料生長技術,并成功制造出只有數百個原子長度、若干個原子厚度的高性能基礎器件。但要將這些“原子級精密元件”組裝成完整的集成電路系統(tǒng),卻始終受困于工藝精度與規(guī)模均勻性的協(xié)同良率控制難題。過去最高集成度僅停留在數百晶體管量級,始終未能跨越功能性微處理器的技術門檻。
“之前二維邏輯功能最大規(guī)模驗證的最高紀錄是115個,而且是不帶時鐘邏輯??梢哉f,我們創(chuàng)造了一個歷史記錄。”周鵬說,在5V的低壓下,“無極”在32位輸入指令的控制下,可以實現最大為42億的數據間加減運算,支持GB級數據存儲和訪問,以及最長可達10億條精簡指令集的程序編寫?!疤岣呷斯ぶ悄芩懔π枰獦O大的能源消耗,我們用微米級的工藝做到納米級的功耗。而極低功耗的CPU可以助力人工智能更廣泛應用?!?/p>
提前驗證二維材料使用路徑
復旦團隊在二維半導體集成電路領域深耕十余年。特別是團隊創(chuàng)新開發(fā)的AI驅動的一貫式協(xié)同工藝優(yōu)化技術,通過“原子級界面精準調控+全流程AI算法優(yōu)化”雙引擎,實現了從材料生長到集成工藝的精準控制?!盁o極”的工藝流程非常復雜,參數設置依靠人工很難完成。引入機器學習AI賦能后,可以迅速確定參數優(yōu)化窗口,提升晶體管良率。
周鵬說,在這些二維半導體集成工藝中,70%左右的工序可直接沿用現有硅基產線成熟技術,而核心的二維特色工藝也已構建包含20余項工藝發(fā)明專利、結合專用工藝設備的自主技術體系,為未來的產業(yè)化落地鋪平道路。
團隊解決了二維材料-接觸-柵介質-后道工藝的精確耦合調控難題,利用原子級精度的加工和表征技術,驗證了規(guī)?;臄底蛛娐?。其中,反相器良率高達99.77%,具備單級高增益和關態(tài)超低漏電等優(yōu)異性能。通過嚴格的自動化測試設備測試,驗證了在1千赫茲時鐘頻率下,在千門級電路上可以串行實現37種32位RISC-V指令,滿足32位RISC-V整型指令集要求。其集成工藝優(yōu)化程度和規(guī)?;娐夫炞C結果,均達到了國際同期最優(yōu)水平。
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將ENIAC和Intel 4004 以及無極誕生年實現了加法上的運算聯(lián)系
“大學的作用幫助產業(yè)界排除前行的困難,這個成果也讓產業(yè)界知曉,二維半導體可以做成處理器。我們做了一件正確而困難的事情。”周鵬說,團隊還將致力于進一步提升二維電子器件的性能和集成度,突破當前晶體管集成度的瓶頸,使其在更多應用場景中具備更強的競爭力。同時,將加強與現有硅基產線技術的結合,推動核心二維特色工藝的產業(yè)化應用。
復旦大學集成芯片與系統(tǒng)全國重點實驗室包文中和周鵬為論文通訊作者,博士生敖明睿、周秀誠為論文第一作者。研究工作得到了科技部、國家自然科學基金委、上海市科委等項目的資助,以及教育部創(chuàng)新平臺的支持。